标题：基于PROFIBUS的智能化金属颗粒镀膜测控系统设计
作者：冯银冉；韩志平 李银生
作者单位：上海大学机电工程与自动化学院，上海 200072；上海米开罗那机电技术有限公司，上海 201319
关键字：嵌入式控制器，PROFIBUS，真空镀膜
摘要：国内高真空溅射镀膜机多采用单一PLC主机控制的集中式测控系统，可靠性和抗干扰能力弱，增加了系统的不稳定性。设计了一种基于嵌入式控制器的分布式网络化真空镀膜机测控系统，采用ARM为核心的嵌入式主控器通过PROFIBUS-DP现场总线连接低温泵机组、冷热水机组、溅射室门变频器、溅射电源、转鼓电机变频器、电解质分析仪等，这种网络拓补结构具有可扩展性强、信息化集成度高、控制工艺在线优化便捷等特点。此外，在上位机监控系统中设定不同的真空溅射镀膜参数，并实现对溅射过程中室内压强、气体浓度、水温等重要参数的实时监控和报警信息处理，保证了溅射镀膜系统可靠、稳定地运行。