标题：基于计算机控制的激光直写系统的设计及应用
作者：宓斌华 李静
作者单位：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027
关键字：激光直写技术，计算机控制，金光栅
摘要：激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点，近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术，可以构建复杂的微纳图案，满足微细加工要求。建立了一套基于计算机控制的激光直写系统，它由光机电和控制软件部分组成。在建立的系统上，以玻璃为基底进行了金光栅的制作并对其进行了形貌测量。测量结果表明，采用该激光直写系统制作的金光栅具有较高的重复精度。