标题：基于NI CompactRIO的离子注入机剂量控制系统设计
作者：钟新华 袁卫华
作者单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南 长沙 410111
关键字：CompactRIO嵌入式实时控制器，剂量控制，均匀性控制，水平扫描控制，垂直扫描控制
摘要：剂量控制器是离子注入机的核心部件，主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI CompactRIO嵌入式实时控制器的离子注入机剂量控制系统。首先介绍了离子注入机剂量控制系统工作原理，怎样实现将离子束按设定的剂量精确地、均匀地注入到晶片表面。然后对基于NI CompactRIO嵌入式控制器的离子注入机剂量控制系统的硬件构成和软件结构作了详细的介绍。最后，通过实验验证了此离子注入机剂量控制系统的性能达到设计要求。