标题：高温MOCVD温度控制系统研究与设计
作者：林伯奇 何华云 毛朝斌 魏唯 胡晓宇
作者单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南 长沙 410111
关键字：高温MOCVD，温度控制系统，串级控制
摘要：温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一，直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究，分析了MOCVD温度控制特点，介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统，着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用。该系统控制效果良好，能进行稳定、均匀、高效的温度控制，为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础。