标题：FMCS在半导体工厂项目上的设计应用
作者：王辉
作者单位：美施威尔（上海）有限公司，上海 200000
关键字：集成控制，PLC，DDC
摘要：采用FMCS系统来满足上海晟碟半导体二期项目控制集成需求，主要从PLC控制、DDC控制等方面进行了全面设计及运行方案的论述。