标题：基于变论域模糊PID算法的MOCVD温升控制
作者：周峰 许力
作者单位：浙江大学电气工程学院，浙江 杭州 310027
关键字：MOCVD系统，变论域，模糊控制
摘要：将变论域思想加入到常规模糊控制中，实现了对MOCVD系统温升过程的有效控制。该控制器包含两个模糊控制过程，一个实现对输入输出论域的自调整，一个实现对温升的控制，通过实验仿真表明，所采用的控制方案能提高温升过程控制的整体性能。