标题：基于ZV成型器的纳米精度定位系统研究
作者：石伟1，2；刘学军3
作者单位：1 南京航空航天大学，江苏 南京 210016；2 威斯康星大学斯托特分校，美国 威斯康星54751；3 新泽西理工大学，美国 新泽西 07102
关键字：ZV成型器，精密定位，定位控制系统
摘要：研究目的在于针对整体十字形压电式纳米开关（PZT）设计实时控制算法（ZV成型器）以改进其暂态响应并减小稳态误差值。实验结果表明，系统具有较好的控制品质和优异的动态性能。