标题：多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨
作者：韩健伟；陈真生 黄开均 陈杰
作者单位：焦作煤业（集团）有限责任公司，河南 焦作 454002；浙江中控技术股份有限公司，浙江 杭州 310053
关键字：还原炉调功器，调功方案，硅芯击穿，恒温加热
摘要：多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的基础原料，其发展前景光明。还原炉调功器是多晶硅生产的核心装置，对还原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用经验。