标题：富士控制系统在半导体设备中的应用
作者：林海涛 钟亮
作者单位：上海微松工业自动化有限公司，上海 201114
关键字：富士电机，E-SX总线，PLC，芯片分选
摘要：以半导体封装设备中的芯片自动分选机为实例，介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线的应用。该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接，配线简单、维护方便、高速可靠。