标题：一种计算机精密测量显示控制系统的设计及实现
作者：卫菊红
作者单位：山西省环境信息中心，山西 太原 030024
关键字：计算机，微动平台，光栅尺，反馈控制
摘要：利用微动平台，二次开发控制软件，进行精密控制。为了克服回程误差，选择精度更高的光栅尺进行测量，整个测量系统组成伺服反馈系统，测量软件上进行闭环，一键设定到位，精度能达到0.2μm，适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域。