标题：硅片处理系统的研制
作者：樊 波，常 弘，薛钧义
作者单位：西安交通大学电气工程学院
关键字：单片机，模块化，转速测量
摘要：本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现，重点阐述了系统结构、调速及测速的原理，最后给出了上位机编程的设计思想。