标题：基于Petri网与SimEvents的半导体晶圆生产线建模与仿真
作者：曹静静 汪峥
作者单位：东南大学自动化学院，江苏 南京 210096
关键字：SimEvents，Petri Nets，仿真，建模，晶圆生产线
摘要：SimEvents与Petri网相结合是一种很好的复杂生产线建模仿真方法，应用这一方法建立了一条300mm晶圆生产线的仿真模型。描述了其Petri网模型建立的总体流程和各个详细步骤，以及在SimEvents环境下实现Petri网模型并进行仿真的关键技术。在此基础上，对晶圆生产的不同调度方案分别进行了仿真，并把仿真结果进行了比较，从而验证了仿真建模方法的正确性。