标题：半自动弯针机的设计与实现——用于悬臂式环氧树脂探针卡的制造
作者：李健；孙兵
作者单位：泉瑞科技有限公司，江苏 苏州 215021；苏州大学电子信息学院，江苏 苏州215021
关键字：弯针机，可编程控制器，人机界面，转义码
摘要：首先介绍了在半导体芯片制造中，环氧树脂探针卡的作用及其制作工艺。基于探针的弯曲需严格符合一定的设计规格，阐述了半自动弯针机的设计，详细说明基于MicroLynx控制器对步进电机的控制，实现对探针的针尖长度及弯曲角度的精确控制。该项技术已应用于探针卡的实际生产中。