标题：RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统
作者：徐香坤；孔祥玲；王庆
作者单位：沈阳理工大学应用技术学院，辽宁 抚顺 113122；中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司研发部， 辽宁 沈阳110168；东北大学机械工程与自动化学院，辽宁 沈阳110004
关键字：CVD镀膜机，温度，气体流量，计算机控制，精度
摘要：针对RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点，开发了基于PC-PLC的RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统。介绍了RF-500型CVD镀膜机的结构以及工作原理；并对该控制系统的硬件结构和软件功能进行了描述。对该控制系统的控制效果进行了大量的实验研究，研究结果表明：基片温度控制精度达到±1℃、工作反应气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制。