标题：基于嵌入式Linux的实时光学膜厚监控系统的开发
作者：于敬豪 刘雄英
作者单位：华南理工大学电子与信息学院，广东 广州 510640
关键字：嵌入式Linux，图形用户界面，驱动程序，膜厚监控
摘要：在嵌入式Linux基础上，从图形用户界面的设计、数据处理模块的设计以及两部分联合工作等方面介绍了实时光学膜厚监控系统的设计和实现。实验表明，该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪。