标题：基于PLC的半自动划片机的上料设备程序设计
作者：刘冬
作者单位：辽宁轨道交通职业学院，辽宁 沈阳 110023
关键字：PLC；晶圆切割；自动上料；以太网；监控报警
摘要：为半自动划片机设计了一套自动上料PLC系统，该系统通过以太网与上位机进行通信，在上位机界面上可以进行手动调试、状态监测、报警显示及自动运行等。上位机给PLC发送控制指令，PLC控制伺服驱动器驱动伺服电机运行，并且控制气缸和夹爪动作；PLC接收传感器的开关信号，并将信号的处理结果上报给上位机；该系统能将料盒中的晶圆自动送到划片机的中心盘上，并且等晶圆切割完成后，将晶圆送回料盒中。