标题：外差激光干涉位移误差补偿研究与实现
作者：杜浩 祝文淼 张文涛 王剑 周开 康承广
作者单位：桂林电子科技大学光电工程学院，广西光电信息处理重点实验室，广西 桂林 541004
关键字：干涉仪；信号处理；位移解算；数据传输
摘要：针对晶圆台高精度定位需求，研究外差激光干涉仪信号处理技术。介绍了系统组成，含激光器、读数头、信号处理板卡及上位机，重点设计基于FPGA的位移解算算法与高速传输方案。位移解算结合多普勒频移解调、实时测频和扩展卡尔曼滤波，实现0.132 nm分辨力。基于JESD204B协议设计传输方案，速率达6 Gbps。实验显示静态标准差0.103 nm、动态0.118 nm，验证了算法有效性与传输可靠性。