标题：基于ABAQUS的压阻式MEMS压力传感器设计与优化
作者：冯晓慧 李俊敏
作者单位：南京理工大学紫金学院，江苏 南京 210046
关键字：压阻式MEMS；压力传感器；ABAQUS；膜片形状优化；有限元分析
摘要：通过有限元软件ABAQUS对压阻式MEMS压力传感器进行设计与优化。研究聚焦于三种不同形状的膜片（圆形、方形和矩形），尝试找到一种最优膜片形状，使其在产生最大挠度和最小应力的同时，输出合理的刺激信号。通过有限元建模和仿真分析，比较了不同膜片形状的力学性能。此外，还探究了膜片上开孔对传感器性能的影响。研究结果表明，圆形膜片以及圆形孔在力学性能方面表现最好，而方形膜片以及方形孔对传感器灵敏度的提升效果最佳。