标题：基于梁理论的静电薄膜驱动器仿真研究
作者：邱开鑫 李宝福
作者单位：上海大学机电工程与自动化学院，上海 200444
关键字：静电驱动器；曲梁模型；有限差分法
摘要：采用梁理论推导了静电驱动器的弹性膜(梁)的本构方程，基于此理论建立了驱动器的二维仿真模型，通过仿真模型获得了电压、位移输出特性之间的关系，模拟了静电驱动器的工作过程，分析了驱动器的工作机理，为设计静电驱动器提供了比较理想的工具，并通过实验验证了理论模型的可靠性。研究结果表明，薄膜的弯曲刚度显著影响驱动器电极吸合处的变形和曲率变化；静电驱动器在电极未吸合阶段和电压饱和阶段的输出特性具有明显的非线性。