标题：基于激光干涉仪对天文底片扫描仪两轴气浮运动平台垂直度的测量
作者：王亮亮1 商正君1 杨美婷1 杨静1 董姗1 赵建海1；于 涌1，2
作者单位：1 中国科学院上海天文台，上海 200030；2 中国科学院大学，北京 100049
关键字：激光干涉仪；气浮运动平台；直线度；垂直度
摘要：上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制，垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理，使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路，对两轴线性气浮式运动平台的垂直度误差进行了测量。测量结果表明：在450 mm×450 mm工作范围内，气浮运动平台两个运动轴的垂直度误差为1.356″，标准偏差为0.121″，满足高精度天文底片扫描仪研制的要求。使用光学直角尺的激光干涉测量方法具备光路布置简便和测量效率高的特点，适合气浮运动平台垂直度的日常检测和标校。