标题：分子束源炉加热丝温度控制算法研究
作者：托乎提努尔1；罗阳2；胡强1 吴进1
作者单位：1 季华实验室，广东 佛山 528251；2 西南大学，重庆 400715
关键字：分子束外延；温度控制；变域论模糊PID控制；遗传算法
摘要：分子束源炉工作过程中，由于内部温度场受到多种复杂因素的干扰，导致温度控制精度与稳定性下降，影响束流质量。源炉温度变化滞后性及非线性的特点使得常规PID控制参数整定不良、性能欠佳，达不到良好的控制效果。针对以上问题，提出一种复合温度控制算法，将遗传算法和变域模糊控制与PID相结合，基于变域理论调节模糊PID控制过程中变量论域的比例因子，实现了PID控制参数的自适应调节，又利用遗传算法优化PID控制的初始参数，提高了PID控制的自整定能力。通过在源炉设备上的实验结果表明，该算法自适应能力强，调整时间短，控制精度达到了0.1℃，能够满足分子束源炉温度控制系统的实际应用需求。