2022年度 第6期
标题:
曲面透镜轮廓新型测量方法
作者:
毛聪聪 黄颖超 周延周
作者单位:
广东工业大学自动化学院,广东 广州 510006
关键字:
激光波数扫描;二维傅里叶变换;相位解卷绕
摘要:
为了快速完成透镜曲面轮廓的高精度测量,结合激光波数扫描干涉测量理论,搭建了一台迈克尔逊干涉测量仪,在参考端引入参考光楔用于监测波数值的变换,通过二维傅里叶变换获得干涉图像卷绕相位,再对相位进行相位解卷绕后还原出被测件曲面轮廓。相较于传统的面型测量方法,该方法具有系统结构简单、测量精度高等特点,适用于透镜轮廓测量领域。