标题：基于DSP的实时负反馈稳定平台系统
作者：汤健华 李静
作者单位：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 230027
关键字：DSP处理；实时；负反馈
摘要：基于DSP搭建了一套实时负反馈稳定平台系统，它包括位移检测光路、基于DSP的数据采集与处理部分、对压电陶瓷平台负反馈控制以及控制软件。系统充分利用DSP（Digital Signal Processing）快速计算能力处理数据，简化了硬件电路。通过对系统标定，得到了工作平台位移量与测得的位移量之间的线性关系，以及标准偏差0.466μm、响应时间16ms。该系统可以实时跟踪、稳定工作平台的波动，满足显微成像的要求。