标题：基于嵌入式的硅晶片瑕疵检测
作者：杨飚 原亚孟
作者单位：北方工业大学城市道路交通智能控制技术北京市重点实验室，北京 100144
关键字：嵌入式，硅晶片，瑕疵检测，YOLOv3，Senet，跨层连接
摘要：针对目前硅晶片瑕疵具有大小差异较大，与背景相似性高，存在大量细小瑕疵，检测算法具有较高复杂度的特点，结合当前先进的目标检测技术与嵌入式技术，提出了基于嵌入式的硅晶片瑕疵检测方法。利用现在流行的YOLOv3算法，通过改进网络结构，并融合了数据扩增等方法训练目标检测网络，使得算法更适合于硅晶片的瑕疵检测任务，并采用模块化设计在Linux嵌入式系统下实现了图像采集、处理、存储与输出。实验表明，在较小的样本下，该方法实现了对硅晶片瑕疵的快速、准确的检测。