标题：气悬浮平台的电流滞环控制研究
作者：罗星；李习峰 张昱
作者单位：广东工业大学，广东 广州 510006；广东省自动化研究所，广东省现代控制技术重点实验室，广东省现代控制与光机电技术公共实验室，广东 广州 510070
关键字：气悬浮平台，直线电机，电流滞环，MATLAB/SIMULINK
摘要：气悬浮运动系统的面向玻璃基板减小了电机摩擦力的影响，在非接触式传输领域具有磨损小、寿命长、污染低、速度高、精密度高等特点，在高加速度高速度精密加工装备领域中应用得越来越多。要满足速度和精度的要求，这样就需要气悬浮平台产生平稳的推力，而平台平稳的推力取决于直线电机得到平滑的圆形磁链，电机的定子三相电流有越高的正弦度，推力就会越平稳。对系统运用电流滞环控制可以使定子三相电流跟随给定的三相电流，使得定子三相电流严格的正弦，从而得到平滑的圆形磁链以及平稳的推力。