标题：基于MEMS的近红外光谱仪控制方法研究与开发
作者：王杰 蒋立沫 王晓俊；璩泽刚
作者单位：东南大学自动化学院，江苏 南京 210096；南京富岛信息工程有限公司，江苏 南京 210061
关键字：MEMS，近红外，PID控制，解耦控制
摘要：基于微机电系统（MEMS）技术的近红外光谱仪已成为当前便携式近红外光谱仪研究的热点。然而，MEMS微镜在长期工作过程中，由于自身特性变化以及外界振动等因素的影响，导致其运行过程中产生角度偏转，进而影响近红外光谱仪的性能。此外，微镜驱动系统还存在变量耦合问题，常规控制方法难以满足近红外光谱仪的性能要求。研究设计了MEMS微镜PID解耦控制系统，将MEMS微镜运动过程中的偏转角控制在0.005°左右，改善了光谱仪的性能。