标题：三轴定位平台的探针运动反馈系统研究
作者：杨璐 魏海坤 张侃健 方仕雄
作者单位：东南大学自动化学院，江苏 南京 210096
关键字：探针运动系统，闭环反馈，光栅尺，误差校正
摘要：分析电路板自动测试平台中的三轴定位平台，针对定位平台存在的运动误差，设计了以光栅尺为位置反馈元件的全闭环反馈系统。该反馈系统能够检测原有平台存在的运动误差并进行校正，实现探针的准确定位，大大提高电路板自动测试的精度。