标题:微细电化学加工纳秒脉冲检测系统研究 作者:李漫漫 葛红宇 张建华 罗茂炫 陈康 作者单位:南京工程学院自动化学院,江苏 南京 211167 关键字:微细电化学加工,纳秒脉冲,在线检测,自研集成电路 摘要:根据纳秒脉冲微细电化学加工的工艺要求,提出并实现了一种纳秒加工脉冲的在线检测方法。通过PLD器件实现检测控制专用集成电路,结合32位高性能嵌入式处理器,实现了相关的转换电路、检测及其支持电路。其中,转换电路获取标准检测信号,检测及其支持电路实现脉冲参数、间隙状态的实时检测。实验表明,所研制系统能够在线检测纳秒加工脉冲的脉宽、脉间以及加工间隙的短/断路状态,实现微细电化学加工的在线监控。 |