标题：10MeV紧凑回旋加速器真空控制系统研究
作者：查剑 李冬 王晓敏 秦斌
作者单位：华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室，湖北 武汉 430074
关键字：真空控制系统，扩散泵，PLC，OPC技术，LabVIEW
摘要：基于紧凑型回旋加速器对真空系统的高稳定、可靠性要求，真空控制系统采用西门子S7-1200 PLC作为主控制器，针对真空阀门的开关状态、扩散泵温度和高压空气压力设计了检测与反馈电路。为快速响应扩散泵过热保护故障，设计了基于电流检测的故障判断电路，提高了系统的安全性。基于多状态切换的设计思想给出了真空系统的控制逻辑，对关系安全的状态切换信号，采用了冗余触发的方式，增强了系统可靠性。真空控制系统采用LabVIEW开发了上位机监控程序，利用OPC技术实现上位机与PLC之间的数据传输，实现了远程监控。